- Uniwersytet Łódzki
- Wydział Chemii Uniwersytetu Łódzkiego
- Katedra Technologii i Chemii Materiałów
- Techniki eksperymentalne i aparatura
- Napylarka
Napylarka
Napylarka Quorum Q300TT, Quorum Technologies Ltd.
Służy do napylania metalami i węglem preparatów nieprzewodzących lub słabo przewodzących (w ramach prac przygotowawczych) przeznaczonych do obrazowania techniką skaningowej mikroskopii elektronowej (SEM).
Napylarka Q300TT zbudowana jest z komory oraz układu pomp turbomolekularnych. Przeznaczona jest do napylania powłok na podłoża o dużej średnicy do 200 mm (np. płytkę Si) lub kilku mniejszych o podobnej średnicy łącznie. Napylarka wyposażona jest w trzy indywidualne głowice, w calu osadzania metali utleniających się, np. chrom (Cr) i aluminium (Al) jak i nieutleniających się np. metale szlachetne, np. złoto (Au), złoto/pallad (Au/Pd) i platyny (Pt).
